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近日，我司自管基金投資企業(yè)合肥御微半導體技術有限公司（以下簡稱“御微半導體”）首臺Halo-100 掩?；迦毕輽z測產品成功發(fā)運，并順利交付國內先進掩模廠。

御微半導體自主研發(fā)的Halo-100設備作為御微“掩模全生命周期質量控制”產品線的第二款產品，憑借御微多年來在掩模檢測領域積累的豐富經驗和技術儲備，以高精度光學系統(tǒng)、高穩(wěn)定性運動臺系統(tǒng)以及高潔凈度環(huán)控與傳輸系統(tǒng)為基礎，結合御微專有的算法和軟件系統(tǒng)，成功實現了針對掩?；?blank)缺陷檢測的需求，并將掩模檢測的應用領域拓展至掩模廠來料檢和掩?；鍙S全制程控制檢。 

御微半導體Halo-100掩?；迦毕輽z測產品

我司于2023年初通過合肥國正多澤產業(yè)投資合伙企業(yè)（有限合伙）投資該企業(yè)，另外，國正公司參股基金合肥石溪產恒二期、長三角數字基金共同助力御微半導體，未來，國正公司將充分利用資源，為御微半導體提供持續(xù)的產業(yè)賦能與支持，護航企業(yè)穩(wěn)步發(fā)展，推動半導體產業(yè)鏈快速發(fā)展。